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■ボンダー
自動ダイボンダー(九松、ニチデン、ASM、自社製)  14台
自動ワイヤーボンダー(九松、海上、新川、自社製)  13台
マニュアルワイヤーボンダー 5台
■チップ部品
汎用マウンター 1台
小基板用マウンター 2台
リフロー炉 2台
セミオート印刷機 1台
■樹脂関連
トランスファープレス 2台
自動ポッティング機 5台
■プレス
自動プレス機 1台
10tプレス 2台
レーザー用ダイボンダー レーザー用ダイボンダー 基板LEDダイボンダー 基板LED(長尺用)ダイボンダー
レーザー用ダイボンダー
キャンステム・サブマウント・LDの金共晶用自動ボンダー
レーザー用ダイボンダー
キャンステム・サブマウント・LDの金共晶用自動ボンダー
基板LEDダイボンダー
一般サイズ、銀ペースト自動ダイボンダー
基板LED(長尺用)ダイボンダー
長尺基板、銀ペースト自動ダイボンダー
基板LED(長尺用)ワイヤーボンダー チップ部品マウンター 小型セラミック基板専用マウンター ヒートサイクル炉
基板LED(長尺用)ワイヤーボンダー
Au線自動ワイヤーボンダー
チップ部品マウンター
モジュール用チップ部品の多機能マウンター
小型セラミック基板専用マウンター
チップ部品のクリーム半田ディスペンス、
接着用小型マウンター
ヒートサイクル炉
完成品の温度・湿度検査用恒温槽
セミオート順送プレス トランスファーモールドプレス
セミオート順送プレス
リードフレームタイバー切断用
トランスファーモールドプレス
リードフレームエポキシ樹脂成型用



新規設備
SW22UHプラズマ洗浄ユニット付ワイヤーボンダー
動作説明
 SW22UHプラズマ洗浄ユニットはアルゴンガスを使用し洗浄します。
 1.チャンバー内を真空にしアルゴンガスを導入します。
 2.チャンバ内に導入されたガスをプラズマ化しワークを洗浄します。

設備全体 プラズマ洗浄ユニット部

チャンバー部

チャンバーを開いた状態

チャンバー内部

ワークを置いた状態

ワークを置いた状態

洗浄可能ワークサイズ

プラズマ条件設定画面

洗浄条件範囲
ガス流量:0〜10ml/min
RF入射:0〜500W
処理時間:0〜999s
(処理時間はMAX120s程度)

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